SLR溶射処理

特長

SLR溶射処理は、プラズマ溶射法を適用することで、極めて小さな表面粗さのコーティングを実現します。これにより、成膜時に堆積する膜の突起形成を抑制し、パーティクルの発生量を極めて少なくさせることが出来ます。

用途

Ｔｉ／TiN用スパッタ装置