ＰＤＭ溶射処理

特長

PDM溶射処理は、スパッタ膜応力を緩和して膜剥離の抑制により、長寿命化を実現したものです。特に、膜応力が大きな成膜材料のスパッタ装置用に適した処理です。

用途

TiN，WSi，W，TiW，TaN用スパッタ装置