産業用部品（Si₃N₄）
〜耐摩耗性、耐熱性に優れた治具の提供〜

概要

東芝マテリアルでは窒化ケイ素がもつ優れた耐摩耗性、耐熱性とヒートショックに強く、溶融金属と濡れ難い特性を活かした様々な産業機械製品を開発し、ご提供しております。特に半導体製造装置では、構成部品材料への低発塵、長寿命要求が強く、センターバルブ、コンタクトコレット、マスクをはじめとする各種治具にご使用いただいております。

用途

• 半導体製造装置用治具
• ろう付け用治具他